13000系列真空層流真空閘閥
13000系列層流閘閥真空閘閥以一個(gè)層流端口嘴為特征, 這樣可以有效的從氣流中密封閥動(dòng)裝構(gòu). 為了額外的保護(hù),在閥體上部和下部都有安裝凈化清洗流道以使惰性氣體流入來(lái)防止工業(yè)廢氣進(jìn)入這些地方. 另一個(gè)特點(diǎn)是有一個(gè)正面的關(guān)閉裝置使這個(gè)真空閥門真空閘閥可以保持密封的完整性, 甚至在遇到動(dòng)力隨著壓力下降而損失的時(shí)候.
兩個(gè)分開的支架可以實(shí)現(xiàn)100%電導(dǎo)（全開）或者0%電導(dǎo)（全關(guān)）. 在打開的位置,一個(gè)流孔從流動(dòng)路程和所有內(nèi)部部件是隔離開的。這個(gè)孔口提供了一個(gè)通過(guò)發(fā)力的清潔的連續(xù)的流動(dòng)路程并且減少了和任何一個(gè)閥體裝置的工業(yè)廢氣接觸. 關(guān)閉位置使用一個(gè)傳統(tǒng)的密封膠圈以產(chǎn)生1x10E-9Torr的真空密封. 線性驅(qū)動(dòng)允許使用焊接波紋管來(lái)密封驅(qū)動(dòng)器并且減少旋轉(zhuǎn)密封圈的必要性。獨(dú)特的氣缸設(shè)計(jì)使沖擊和振動(dòng)減少到最小. 此設(shè)計(jì)非常有益于半導(dǎo)體制造和其他敏感加工工業(yè)要求操作時(shí)相對(duì)自由振動(dòng)的.
這個(gè)HVA 不銹鋼閥門真空閘閥提供了的業(yè)界最小的接口. 閥體和所有主要內(nèi)部部件在1100 ℃, 1x10E-6Torr的真空爐中焊接的, 確保了最大的完整性. 這就減少在傳統(tǒng)的焊接波紋管閥門里發(fā)現(xiàn)的虛漏和缺陷了. 在保養(yǎng)方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空閘閥從整個(gè)系統(tǒng)中拆卸出來(lái)。
13000系列層流真空閘閥產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)
2. 不銹鋼焊接波紋管
3. 標(biāo)準(zhǔn)或者定制法蘭
4. 電磁閥控制并帶有手動(dòng)超控
13000系列層流真空閘閥產(chǎn)品規(guī)格
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連接形式：
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標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭
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主體材料：
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不銹鋼
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公稱通徑：
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DN40-DN300 mm
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漏率:
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2x10E-10 AtmCC/Sec
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壓力范圍:
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1x10E-9 Torr
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烘烤溫度:
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《200℃
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適用介質(zhì)：
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水、蒸汽、空氣、高腐蝕氣體
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密封形式：
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軟密封型
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驅(qū)動(dòng)方式：
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氣動(dòng)
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使用壽命:
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視系統(tǒng)而定
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13000系列層流真空閘閥產(chǎn)品應(yīng)用
層流閘閥真空閘閥可以用在蝕刻,化學(xué)蒸汽沉積等其他要用高腐蝕氣體,可能損壞其他閥門的加工中。標(biāo)準(zhǔn)真空閥門真空閘閥不可能承受不斷的工業(yè)廢氣侵入. 廣泛的半導(dǎo)體應(yīng)用已經(jīng)證明這些高真空閥門真空閘閥是過(guò)程工藝系統(tǒng)的一筆寶貴財(cái)富.
13000系列層流真空閘閥產(chǎn)品部件圖
